Оборудование для выращивания плёнок
Система атомно-слоевого осаждения (ALD)
Предназначена для роста сверхтонких диэлектрических плёнок по технологии ALD. Подходит для плёнок Al₂O₃, ZnO и прозрачных проводящих оксидов с точностью на атом...
Посмотреть продукт