박막 성장 장비 원자층 증착(ALD) 시스템 ALD 기술로 초박막 유전체를 성장시키도록 설계되었습니다. 원자 규모 정밀도의 Al₂O₃, ZnO 및 투명 전도성 산화물 박막에 적합합니다. 제품 보기 ↗