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원자층 증착(ALD) 시스템

ALD 기술로 초박막 유전체를 성장시키도록 설계되었습니다. 원자 규모 정밀도의 Al₂O₃, ZnO 및 투명 전도성 산화물 박막에 적합합니다.

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Atomic Layer Deposition (ALD) System

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