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薄膜成長装置

次の発見を支える精密機器とシステム。

薄膜成長装置

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原子層堆積（ALD）システム

薄膜成長装置

原子層堆積（ALD）システム

ALD技術による超薄膜誘電体の成長用に設計。原子スケールの精度を要するAl₂O₃、ZnO、透明導電性酸化物膜に最適です。

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