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結晶材料作製

次の発見を支える精密機器とシステム。

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炭化ケイ素（SiC）結晶成長炉

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炭化ケイ素（SiC）結晶成長炉

誘導加熱と物理気相輸送（PVT）でSiC粉末を昇華させ、高純度の6インチ炭化ケイ素結晶を成長させるSiC結晶成長炉です。

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