結晶材料作製
炭化ケイ素（SiC）結晶成長炉
誘導加熱と物理気相輸送（PVT）でSiC粉末を昇華させ、高純度の6インチ炭化ケイ素結晶を成長させるSiC結晶成長炉です。
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次の発見を支える精密機器とシステム。
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185 製品
PVD コーティング装置
単室式マグネトロンスパッタリングシステム
ナノ・マイクロ薄膜の均一堆積用に設計された単室式スパッタリングシステム。金属、誘電体、多層膜の研究に対応します。
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超伝導磁石システム
ソレノイド型超伝導磁石
Vectomag のソレノイド型超伝導磁石は、ドライ式またはウェット式冷却に対応。精密な軸方向用途に合わせて磁場強度、均一度、ボア径をカスタマイズできます。
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PVD コーティング装置
角形4室マグネトロンスパッタリングシステム
大面積薄膜成膜向けに設計された4室マグネトロンスパッタリングシステム。高真空または低真空下で結晶シリコンへの逐次または反応性金属堆積を実現します。
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ヘルムホルツコイル
均一磁場用角型ヘルムホルツコイル
角型ヘルムホルツコイルは広い範囲に均一な磁場を提供し、大型試料の試験に適しています。辺長をカスタマイズでき、1D、2D、3D構成に対応します。
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電流源
安定出力 DC 電源
安定した電圧・電流出力を提供するコンパクトで高性能な DC 電源。精密試験、計測機器、電子実験に最適です。
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低温プローブステーション
標準極低温プローブステーション
低温環境で半導体、スピントロニクス、マイクロ・ナノデバイスの電気・磁気試験を行う精密極低温プローブステーション。
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電磁石
標準電磁石
可変ギャップ、水冷コイル、安定した磁場均一性を備えた高精度標準電磁石。MOKE およびホール効果実験に最適です。
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電流源
超伝導磁石専用電源
超伝導磁石向けに専用設計された電源。研究・産業用途のために、高度に安定した電流出力と低温環境への適合性を提供します。
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超伝導磁石用電源
超伝導磁石電源
Vectomag SP シリーズ超伝導磁石電源は、超伝導磁石システム向けに、極めて安定した電流、低リップル、精密制御を提供します。
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磁気光学カー効果測定システム
表面磁気光学カー効果システム
極、縦、横カー信号を取得し、ヒステリシス、保磁力、飽和磁場などの表面磁化を分析するシステムです。
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PVD コーティング装置
熱蒸着真空成膜装置
抵抗加熱で金属、酸化物、半導体、有機膜を堆積する熱蒸着真空成膜装置。研究と生産前試験に最適です。
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