Vectomag
銅、インジウム、ガリウム、セレンなどのCIGS材料を用いた薄膜太陽電池のR&Dとパイロット規模生産向けに設計。連続真空処理に対応します。
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ALD技術による超薄膜誘電体の成長用に設計。原子スケールの精度を要するAl₂O₃、ZnO、透明導電性酸化物膜に最適です。
CMT - 300レーザー成膜システムは、学術およびR & Dの薄膜用途向けに、超伝導、半導体、強誘電体膜の高精度堆積を可能にします。
R & D およびパイロット規模の生産における超伝導、半導体、強誘電体薄膜の製作向けに設計された高エネルギーレーザー成膜システム。
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