LNPS-80 低温プローブステーション

Vectomag LNPS-80低温プローブステーション は、材料や半導体デバイスの非破壊の電気・光学・マイクロ波測定に向けた、信頼性の高いプラットフォームです。

最大80 mmのデバイスに対応し、ナノ電子材料、量子細線、量子ドット、半導体構造の研究に適しています。

LNPS-80は、液体窒素による冷却で80 Kから425 Kまでの精密な温度制御を提供します。遮熱チャンバーにより黒体放射の影響を抑え、LN2の消費を最小限にします。

モジュール式の設計により、実験の要件に応じてプローブ、試料ステージ、測定ケーブルを構成でき、DC、RF、マイクロ波測定に対応します。

• LNPS-80 メインチャンバーとベースプラットフォーム
• 4軸精密プローブアーム
• 交換可能な試料ステージ（最大80 mm）
• PID 制御用温度センサー + ヒーター
• 断熱移送管付き液体窒素デュワー
• 高倍率顕微鏡モジュール
• DC / RF / マイクロ波試験用の測定ケーブルとフィードスルー

• 迅速で安定した温度制御のための液体窒素冷却
• 柔軟な構成のための交換可能な試料ステージ
• 温度範囲：80 K – 425 K
• 温度安定性：≤ 50 mK
• プローブ位置精度：10 µm
• 4本の精密プローブアーム、それぞれXYZ微調整機能付き
• DC 同軸プローブ3本 + 40 GHz マイクロ波プローブ1本
• プローブ移動量：XY 25 mm / Z > 50 mm
• 正確な位置合わせとイメージングのための高倍率光学顕微鏡
• ベリリウム／タングステンプローブで試料への熱伝導を最小化

• 半導体デバイスと集積回路
• ナノ電子／量子ドット／量子細線材料
• MEMS および超伝導デバイス
• 極低温条件下での電気・光電子特性評価
• DC、RF、マイクロ波パラメータの試験

• 追加のDCおよびRFプローブアーム
• 目視観察用の低温カメラまたは光学窓
• 高周波コネクター（> 40 GHz）
• ウェハーまたはチップ試験用のカスタム試料ホルダー
• 真空排気・圧力制御モジュール

• 温度のリアルタイム表示とデータ記録
• PID温度安定化制御
• データ分析用の冷却・昇温曲線のグラフ表示
• 自動停止・保護機能
• CSV / TXT 形式でのデータ出力