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LNPS-80 저온 프로브 스테이션

Name: LNPS-80 저온 프로브 스테이션
Brand: Vectomag

LNPS-80 저온 프로브 스테이션은 높은 안정성과 모듈형 설계로 80 K부터 425 K까지 정밀한 DC, RF 및 마이크로파 시험을 지원합니다.

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선정 정보

온도 범위: 80 K – 425 K
온도 안정성: ≤ 50 mK

1. 제품 개요

Vectomag LNPS-80 저온 프로브 스테이션 은 소재 및 반도체 소자의 비파괴 전기·광학·마이크로파 측정을 위한 신뢰성 있는 플랫폼을 제공합니다.

최대 80 mm 크기의 소자를 지원하므로 나노전자 소재, 양자선, 양자점 및 반도체 구조 연구에 적합합니다.

LNPS-80은 액체질소 냉각을 사용하여 80 K부터 425 K까지 정밀한 온도 제어를 제공합니다. 열 차폐 챔버가 흑체 복사의 영향을 줄이고 LN2 소비를 최소화합니다.

모듈식 설계로 실험 요구에 맞춰 프로브, 시료 스테이지 및 측정 케이블을 구성할 수 있으며, DC, RF 및 마이크로파 측정을 지원합니다.

3. 기술 사양

LNPS-80 냉각 곡선

LNPS-80 온도 제어 곡선

3. 기술 사양
Parameter	Value
온도 범위	80 K – 425 K
온도 안정성	≤ 50 mK
최대 시료 크기	80 mm
프로브 암 수	4(3 DC + 1 마이크로파 40 GHz)
프로브 팁 직경	10 µm
프로브 암 이동 거리(XY)	± 25 mm
프로브 암 이동 범위 (Z)	> 50 mm
프로브 암 재질	304 스테인리스강 + G10 복합재
냉각 방식	열복사 차폐가 있는 액체 질소
현미경	고배율 광학 현미경
측정 모드	DC / RF / 마이크로파

5. 시스템 구성

LNPS-80 메인 챔버 및 베이스 플랫폼
4축 정밀 프로브 암
교체 가능한 시료 스테이지(최대 80 mm)
PID 제어용 온도 센서 + 히터
단열 이송관이 있는 액체 질소 듀어
고배율 현미경 모듈
DC / RF / 마이크로파 시험용 측정 케이블 및 피드스루

2. 주요 특징

빠르고 안정적인 온도 제어를 위한 액체 질소 냉각
유연한 구성을 위한 교환형 시료 스테이지
온도 범위: 80 K – 425 K
온도 안정성: ≤ 50 mK
프로브 위치 정확도: 10 µm
각각 XYZ 미세 조정 기능을 갖춘 정밀 프로브 암 4개
DC 동축 프로브 3개 + 40 GHz 마이크로파 프로브 1개
프로브 이동 범위: XY 25 mm / Z > 50 mm
정확한 정렬과 이미징을 위한 고배율 광학 현미경
베릴륨 / 텅스텐 프로브가 시료로의 열전도를 최소화

4. 시험 가능한 시료 및 응용

반도체 소자 및 집적회로
나노전자 / 양자점 / 양자선 재료
MEMS 및 초전도 소자
극저온 조건에서 전기 및 광전자 특성 평가
DC, RF 및 마이크로파 파라미터 시험

6. 선택 사양 부속품

추가 DC 및 RF 프로브 암
시각 관찰용 극저온 카메라 또는 광학 창
고주파 커넥터 (> 40 GHz)
웨이퍼 또는 칩 시험용 맞춤형 시료 홀더
진공 배기 및 압력 제어 모듈

7. 소프트웨어 기능

실시간 온도 표시 및 데이터 기록
PID 온도 안정화 제어
데이터 분석용 냉각 및 가열 곡선 그래프
자동 종료 및 보호 기능
CSV / TXT 형식 데이터 내보내기

가격 및 공급 가능 여부