LNPS-80 — низкотемпературная зондовая станция

Низкотемпературная зондовая станция LNPS-80 Vectomag предоставляет надёжную платформу для неразрушающих электрических, оптических и микроволновых измерений материалов и полупроводниковых устройств.

Она поддерживает устройства размером до 80 mm и подходит для исследования наноэлектронных материалов, квантовых проволок, квантовых точек и полупроводниковых структур.

LNPS-80 обеспечивает точное регулирование температуры от 80 K до 425 K с охлаждением жидким азотом. Камера с тепловым экраном уменьшает влияние излучения чёрного тела и минимизирует расход LN2.

Модульная конструкция позволяет подбирать зонды, предметные столики и измерительные кабели под задачи эксперимента и поддерживает измерения DC, RF и в микроволновом диапазоне.

• Основная камера и базовая платформа LNPS-80
• Четырёхосевые прецизионные зондовые манипуляторы
• Сменный столик для образцов (макс. 80 mm)
• Датчик температуры + нагреватель для PID-регулирования
• Сосуд Дьюара для жидкого азота с теплоизолированной линией передачи
• Модуль микроскопа высокого увеличения
• Измерительные кабели и гермовводы для испытаний DC / RF / микроволн

• Охлаждение жидким азотом для быстрого стабильного управления температурой
• Сменные столики образцов для гибкой конфигурации
• Диапазон температуры: 80 K – 425 K
• Стабильность температуры: ≤ 50 mK
• Точность позиционирования зонда: 10 µm
• Четыре прецизионных зондовых манипулятора, каждый с точной регулировкой XYZ
• Три коаксиальных зонда DC + один микроволновый зонд 40 GHz
• Ход зонда: XY 25 mm / Z > 50 mm
• Оптический микроскоп высокого увеличения для точного позиционирования и визуализации
• Бериллиевые / вольфрамовые зонды минимизируют теплопроводность к образцу

• Полупроводниковые устройства и интегральные схемы
• Наноэлектронные материалы / материалы квантовых точек / квантовых проволок
• MEMS и сверхпроводящие устройства
• Электрическая и оптоэлектронная характеризация в криогенных условиях
• Испытания параметров DC, RF и микроволн

• Дополнительные зондовые манипуляторы DC и RF
• Криогенная камера или оптическое окно для визуального наблюдения
• Высокочастотные разъемы (> 40 GHz)
• Специализированные держатели образцов для испытаний пластин или чипов
• Модули вакуумной откачки и управления давлением

• Отображение температуры в реальном времени и регистрация данных
• PID-управление стабилизацией температуры
• Графики охлаждения и нагрева для анализа данных
• Функции автоматического отключения и защиты
• Экспорт данных в формате CSV / TXT