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CMT-60 コンパクトホール効果測定器

CMT-60は、コンパクトな設計でホール効果とキャリア移動度を精密に測定。研究開発ラボの卓上用途に最適です。

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1. 製品概要

CMT-60コンパクトホール効果測定装置は、半導体材料を精密に評価するために設計されています。キャリア濃度、移動度、抵抗率、ホール係数などの主要な電気パラメータを正確に測定します。これらのパラメータは半導体の電気特性の評価と管理に不可欠であり、CMT-60は半導体デバイス開発における研究と品質管理の両方で有用なツールです。

2. 主な特長

  • キャリア濃度、移動度、抵抗率、ホール係数の正確な測定
  • 半導体の電気特性解析用総合システム
  • 研究室と産業用途の両方に対応する先進的なホール効果試験プラットフォーム
  • 定電流源、マイクロボルトメーター、切替リレーシステムをシームレスに統合
  • 手動配線の削減と実験操作の簡素化

3. 技術仕様

物理パラメーターキャリア濃度10³cm⁻³ - 10²³cm⁻³
移動度0 .1 cm²/ volt*sec - 10⁸cm²/ volt*sec
抵抗率範囲10⁻⁷ Ohm*cm - 10¹² Ohm*cm
ホール電圧1 uV - 3V
ホール係数10⁻⁵ - 10²⁷cm³/ C
測定可能な材料の種類半導体材料SiGe、SiC、InAs、InGaAs、InP、AlGaAs、HgCdTe、フェライト材料など。
低抵抗材料グラフェン、金属、透明酸化物、弱磁性半導体材料、TMR 材料など
高抵抗材料半絶縁性GaAs、GaN、CdTeなど
材料の導電性粒子材料の P 型および N 型試験
磁場環境磁石タイプ可変電磁石
磁場の大きさ磁極面直径50mm、1.22T@10mmギャップ、0.74T@20mmギャップ、0.51T@30mmギャップ
均一領域1%
オプション磁場環境お客様の要望に応じた磁場規模の電磁石をカスタマイズできます
電気パラメータ電流源50.00nA- 50.00mA
電流源分解能0.0001uA
測定電圧0 ~ ±3V
電圧測定分解能0.0001 mV
温度環境80K-500K（温度制御精度：0.1K）
その他の付属品遮光外部に取り付けた遮光部品により試験材料をより安定化
試料サイズ最大15mm * 15mm
ボックスキャビネット600*600*1000mm
試験片中国科学院半導体研究所のホール効果標準試験試料とデータ：1セット(GaAs, ITO)
オーミック接触の形成電気はんだごて、インジウム片、はんだ、エナメル線など
試験開始後に人の操作を必要としない、ワンボタン自動測定が可能です
ソフトウェアはI-V曲線とBV曲線に対応します
ソフトウェアで自動温度測定を設定
実験結果を測定し、データをソフトウェア内に一時保存します。
長期保存が必要な場合は、データをEXCEL表に出力して後のデータ処理に利用できます。
中国科学院半導体研究所のホール効果標準試験試料とデータを提供：1セット

4. 測定可能な試料と用途

5. システム構成

CMT-60システムには、この計測プラットフォーム専用に開発されたCMT-320ホール効果測定器が組み込まれています。

  • 定電流源、高精度6桁半マイクロボルトメーター、ホール測定切替リレーを統合
  • 実験装置の設定と手動接続の複雑さを大幅に低減
  • CMT-320は定電流源またはマイクロボルトメーターとして独立しても使用でき、さまざまな試験ニーズに対応する多用途性を提供します

6. ソフトウェア機能

システムソフトウェアは、自動データ収集と解析を提供し、次のようなパラメーターに対応します：

  • バルクキャリア濃度
  • 表面キャリア濃度
  • 移動度
  • 抵抗率
  • ホール係数
  • 磁気抵抗

ソフトウェアは実験結果を自動計算し、精度を確保して作業効率を向上させます。

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