自動ホール効果測定システム
マイクロプローブの精度とHDTV顕微鏡観察により、キャリア濃度、移動度、抵抗率、ホール係数を測定する自動ホール効果システムです。
製品を見るCMT-100高精度ホール効果測定システムは、半導体材料の主要な電気パラメータであるキャリア濃度、移動度、抵抗率、ホール係数を正確に測定するために設計されています。これらのパラメータは半導体デバイスや材料の電気的挙動を評価するうえで重要であり、ホール効果測定システムは高度な半導体研究、デバイス特性評価、材料科学研究に不可欠なツールとなります。
さまざまな半導体用途の開発、品質管理、性能分析を支援する、精密で信頼性の高いデータを提供します。

CMT-100ホール効果測定システム専用に開発されたCMT-320システムソースメーターは、高安定性定電流源、低ノイズマイクロボルトメーター、多チャンネル切替リレーをコンパクトなユニットに統合しています。この一体型設計により実験の配線と操作が大幅に簡素化され、安定した正確な測定性能が確保されます。
CMT-320ソースメーターは、定電流源およびマイクロボルトメーターとして単独で使用することもでき、幅広い試験ニーズに柔軟に対応します。

| 物理パラメーター | キャリア濃度 | 10³cm⁻³ - 10²³cm⁻³ |
| 移動度 | 0 .1 cm²/ volt*sec - 10⁸cm²/ volt*sec | |
| 抵抗率範囲 | 10⁻⁷ Ohm*cm - 10¹² Ohm*cm | |
| ホール電圧 | 1 uV - 3V | |
| ホール係数 | 10⁻⁵ - 10²⁷cm³/ C | |
| 測定可能な材料の種類 | 半導体材料 | SiGe、SiC、InAs、InGaAs、InP、AlGaAs、HgCdTe、フェライト材料など。 |
| 低抵抗材料 | グラフェン、金属、透明酸化物、弱磁性半導体材料、TMR 材料など | |
| 高抵抗材料 | 半絶縁性GaAs、GaN、CdTeなど | |
| 材料の導電性粒子 | 材料の P 型および N 型試験 | |
| 磁場環境 | 磁石タイプ | 可変電磁石 |
| 磁場の大きさ | 1900mT(磁極間隔 10mm) | |
| 1300mT(磁極間隔20mm) | ||
| 900mT(磁極間隔30mm) | ||
| 800mT(磁極間隔40mm) | ||
| 600mT(磁極間隔 50mm) | ||
| 均一領域:1% | 最小分解能:0.1Gs | |
| オプション磁場環境 | お客様の要望に応じた磁場規模の電磁石をカスタマイズできます | |
| 電気パラメータ | 電流源 | 50.00nA- 50.00mA |
| 電流源分解能 | 0.0001uA | |
| 測定電圧 | 0 ~ ±3V | |
| 電圧測定分解能 | 0.0001 mV | |
| その他の付属品 | 遮光 | 外付け遮光部品で試験材料をより安定させます |
| 試料サイズ | 標準 10mm * 10mm | |
| 最大16mm * 16mm | ||
| ボックスキャビネット | 600*600*1000mm | |
| 試験片 | 中国科学院半導体研究所のホール効果標準試験試料とデータ:1セット | |
| (Si, Ge, GaAs, lnSb) | ||
| オーミック接触の形成 | 電気はんだごて、インジウム片、はんだ、エナメル線など | |
| 試験開始後に人の操作を必要としない、ワンボタン自動測定が可能です | ||
| ソフトウェアはI-V曲線とBV曲線に対応します | ||
| ソフトウェアで自動温度測定を設定 | ||
| 実験結果を測定し、データをソフトウェア内に一時保存します。長期保存が必要な場合は、EXCEL表に出力して後のデータ処理に利用できます。 | ||
| 中国科学院半導体研究所のホール効果標準試験試料とデータを提供:1セット | ||

| システム型番 | 試験温度域 | システム試験指標 |
| CMT-100高温・低温ホール効果試験システム | 80K ~ 500K (高温・低温、温度調整0.1K) | 最小分解能:0.1GS 試料電流:0.05uA~50mA(調整0.1nA) 磁場:間隔10mmで2T;間隔30mmで1T 抵抗率範囲:10-5~107 Ohm*cm キャリア濃度:103~1023cm-3 移動度:0.1~108cm2/volt*sec 抵抗範囲:10m Ohms~6MOhms |
| DX-100H 高温ホール効果試験システム | 300K ~ 500K (高温、温度調整0.1K) | |
| CMT-100L低温ホール効果試験システム | 80K ~ 300K (低温、温度調整0.1K) | |
| CMT-200L低温ホール効果試験システム | 4K ~ 300K (低温、温度調整0.1K) | |
| CMT-500高低温ホール効果試験システム | 80K ~ 800K (高温・低温、温度調整0.1K) | |
| CMT-500H高温ホール効果試験システム | 300 K ~ 800 K (高温、温度調整0.1K) |