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CMT-3000 ホール効果特性評価装置

CMT - 3000は、ホール効果、磁気抵抗、I - V曲線の測定を統合した自動システムで、高度な半導体材料の特性評価に対応します。

CMT-3000 Hall Effect Characterization Device 原寸画像を見る

1. 製品概要

CMT-60 コンパクトホール効果測定器 は、精密ハードウェアとスマートソフトウェアを統合し、半導体材料の信頼性の高い解析を提供します。抵抗率、ホール係数、キャリア移動度、キャリア濃度などの主要パラメーターを測定し、材料研究とデバイス特性評価のための包括的なプラットフォームを提供します。

このシステムは、電気計測機器の構成や回路配線(室温・低温の両方)など、見落とされがちな細部を考慮しています。高度な設計と使いやすいインターフェースにより、CMT-60は迅速な設定と高精度な結果を実現します。

2. 主な特長

  • 迅速な取付・交換が可能な差し込み式試料カード
  • 標準構成では2試料を同時測定でき、オプション機器により4試料まで拡張可能
  • 広い抵抗測定範囲: 0.1 mΩ – 100 GΩ
  • さまざまな電流・磁場条件下での複数のホール効果・抵抗測定
  • 自動データ収集と曲線描画(I-V、R-T、R-H、磁気抵抗)
  • ゼロ磁場付近を滑らかに制御できる安定磁場
  • 高速磁場制御用の精密ガウスメーターを電磁石電源に内蔵
  • 可変温度でのホール効果・抵抗測定を可能にする柔軟な低温オプション

主な構成(米国Keithley機器)

5. ソフトウェア機能

専用ソフトウェアは次の機能に対応します:

  • ホール効果、抵抗率、磁気抵抗の自動測定
  • シート抵抗、ホール係数、導電型、キャリア濃度、移動度をリアルタイム計算
  • 曲線描画:I-V、R-T、R-H、磁気抵抗の結果を即座に表示
  • データエクスポートと自動レポート

6. ソフトウェア機能

専用ソフトウェアは次の機能に対応します:

  • ホール効果、抵抗率、磁気抵抗の自動測定
  • シート抵抗、ホール係数、導電型、キャリア濃度、移動度をリアルタイム計算
  • 曲線描画:I-V、R-T、R-H、磁気抵抗の結果を即座に表示
  • データエクスポートと自動レポート

低温部(オプション)

温度範囲冷却本体温度制御装置
80~500K液体窒素恒温槽TC202
4~500Kサイクル冷凍機TC202
4~325K極低温システムTC202
45~325KCTI小型冷凍機TC202

温度環境(オプション)

液体ヘリウム不要の超伝導磁石システム、1.6K~325K;
液体窒素恒温装置のオプション:

  1. 標準液体窒素恒温槽、80K~325K;
  2. 高温液体窒素恒温槽、80K~500K;

循環冷凍機のオプション:

  1. 標準4K冷凍機システム、4K~325K;
  2. 高温4K冷凍機、4K~700K;
  3. 標準10K冷凍機システム、10K~325K;
  4. 高温 10K 冷凍機、10K~800K;
  5. 小型冷凍機システム、45K~325K。

代表的な材料

  • 半導体:Si、GaAs、InAs、InP、SiGe、InGaAs、AlGaAs、HgCdTeなど。
  • 低インピーダンス材料:金属、透明酸化物、弱磁性半導体、TMR材料。
  • 高インピーダンス材料:半絶縁性 GaAs、GaN、CdTe など

磁気部品

磁場環境

主要技術指標

  • 試料サイズ 小:12 × 12 mm² 大:50 × 50 mm² プローブ:1 × 1 mm² ~ 30 × 30 mm²
  • 試料測定方法:ホール効果試料:Si、GaAs など。抵抗・I-V 試料:4線または6線法

電気特性

次の代表的な試験条件下:

  1. 試料消費電力は 1mV 未満。この条件下で、励起をシステム構成で推奨される最大電流および電圧まで到達させます;
  2. 試料温度295K;
  3. 試料台に漏れ電流なし;
  4. 各試験リード線の抵抗25Ω;
  5. 抵抗率測定の電圧利用効率(V_out/V_in)は、Vanderbilt試料で約0.1、ホール試料で約0.5である必要があります;
  6. 試料形状補正係数 1;
  7. 磁場と試料厚さの測定不確かさは1%以内である必要があります;
  8. 磁場/試料厚さは 1T/mm とします。測定可能な最大キャリア濃度は、この値におおむね比例します。そのため、磁場を強くし、試料を厚くすることで測定範囲を改善できるとされています。
システム標準
電流源±100pA~±0.1A
電圧源±0.1uV~±30V
電流±100pA~±100mA(最小分解能 100pA)
電圧±0.1uV~±30V(最小分解能 0.1uV)
最大抵抗10MΩ
最小抵抗 (VDP)40mΩ
最小抵抗 (HB)10mΩ
最大キャリア濃度1.0E+18

価格・納期

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