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CMT-3000 홀 효과 특성 평가 장치

CMT - 3000은 고급 반도체 재료 특성 평가를 위해 홀 효과, 자기저항 및 I - V 곡선 시험을 통합한 자동화 시스템입니다.

CMT-3000 Hall Effect Characterization Device 원본 이미지 보기

1. 제품 개요

CMT-60 소형 홀 효과 측정기 는 정밀 하드웨어와 스마트 소프트웨어를 통합하여 반도체 재료를 신뢰성 있게 분석합니다. 비저항, 홀 계수, 캐리어 이동도 및 캐리어 농도와 같은 주요 매개변수를 측정하며, 재료 연구와 소자 특성 평가를 위한 종합 플랫폼을 제공합니다.

이 시스템은 전기 계측기 구성과 회로 배선(실온 및 저온 모두) 등 놓치기 쉬운 세부 사항을 고려합니다. 고급 설계와 사용하기 쉬운 인터페이스로 CMT-60은 빠른 설정과 매우 정확한 결과를 제공합니다.

2. 주요 특징

  • 빠른 설치 및 교체를 위한 플러그형 시료 카드
  • 표준 구성에서 시료 2개를 동시에 시험할 수 있으며, 선택 사양 장치로 4개까지 확장 가능
  • 넓은 저항 측정 범위: 0.1 mΩ – 100 GΩ
  • 다양한 전류 및 자기장 조건에서 여러 홀 효과 및 저항 측정
  • 자동 데이터 수집 및 곡선 표시 (I-V, R-T, R-H, 자기저항)
  • 영자기장 평활 기능이 있는 안정적인 자기장
  • 빠른 자기장 제어용 정밀 가우스미터가 전자석 전원 공급기에 내장
  • 가변 온도 홀 효과 및 저항 측정을 지원하는 유연한 저온 선택 사양

주 구성(미국 Keithley 장비)

5. 소프트웨어 기능

전용 소프트웨어는 다음을 지원합니다:

  • 홀 효과, 비저항 및 자기저항 자동 측정
  • 시트 저항, 홀 계수, 전도 유형, 캐리어 농도 및 이동도 실시간 계산
  • 곡선 표시: I-V, R-T, R-H 및 자기저항 결과 즉시 표시
  • 데이터 내보내기 및 자동 보고

6. 소프트웨어 기능

전용 소프트웨어는 다음을 지원합니다:

  • 홀 효과, 비저항 및 자기저항 자동 측정
  • 시트 저항, 홀 계수, 전도 유형, 캐리어 농도 및 이동도 실시간 계산
  • 곡선 표시: I-V, R-T, R-H 및 자기저항 결과 즉시 표시
  • 데이터 내보내기 및 자동 보고

저온 부분(선택 사양)

온도 범위냉각 본체온도 제어 장치
80~500K액체 질소 항온조TC202
4~500K사이클 냉각기TC202
4~325K극저온 저온 시스템TC202
45~325KCTI 소형 냉각기TC202

온도 환경 (선택 사양)

액체 헬륨이 필요 없는 초전도 자석 시스템, 1.6K~325K;
액체 질소 온도 조절 장치 옵션:

  1. 표준 액체 질소 항온조, 80K~325K;
  2. 고온 액체 질소 항온조, 80K~500K;

순환 냉동기 옵션:

  1. 표준 4K 냉각기 시스템, 4K~325K;
  2. 고온 4K 냉각기, 4K~700K;
  3. 표준 10K 냉각기 시스템, 10K~325K;
  4. 고온 10K 냉동기, 10K~800K;
  5. 초소형 냉동기 시스템, 45K~325K.

대표적인 재료

  • 반도체: Si, GaAs, InAs, InP, SiGe, InGaAs, AlGaAs, HgCdTe 등.
  • 저임피던스 재료: 금속, 투명 산화물, 약자성 반도체 및 TMR 재료.
  • 고임피던스 재료: 반절연성 GaAs, GaN, CdTe 등

자기 부품

자기장 환경

주요 기술 지표

  • 시료 크기 소형: 12 × 12 mm² 대형: 50 × 50 mm² 프로브: 1 × 1 mm² ~ 30 × 30 mm²
  • 시료 측정 방법: 홀 효과 시료: Si, GaAs 등. 저항 및 I-V 시료: 4선 또는 6선 방법

전기 특성

다음의 일반적인 시험 조건에서:

  1. 시료 소비 전력은 1mV 미만이며, 이 조건에서 여자를 시스템 구성의 최대 권장 전류 및 전압까지 도달시킵니다;
  2. 시료 온도 295K;
  3. 시료 받침대에 누설 전류 없음;
  4. 각 시험 리드선 저항 25Ω;
  5. 전기 비저항 측정의 전압 사용 효율 (V_out/V_in)은 Vanderbilt 시료에서 약 0.1, 홀 시료에서 약 0.5이어야 합니다;
  6. 시료 형상 보정 계수 1;
  7. 자기장 및 시료 두께 측정 불확도는 1% 이내여야 합니다;
  8. 자기장/시료 두께는 1T/mm여야 합니다. 측정되는 최대 캐리어 농도는 이 값에 대략 비례하므로, 더 강한 자기장과 더 두꺼운 시료로 측정 범위를 개선할 수 있습니다.
시스템표준
전류원±100pA~±0.1A
전압원±0.1uV~±30V
전류±100pA~±100mA (최소 분해능 100pA)
전압±0.1uV~±30V (최소 분해능 0.1uV)
최대 저항10MΩ
최소 저항 (VDP)40mΩ
최소 저항 (HB)10mΩ
최대 캐리어 농도1.0E+18

가격 및 공급 가능 여부

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