진공 어닐링로
고온 진공 어닐링로
정밀 열처리용으로 설계된 고온 진공 어닐링로는 진공 및 강한 자기장 조건에서 연자성 소재 가공을 지원합니다.
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새로운 발견을 위한 정밀 기기와 시스템.
진공 어닐링로
정밀 열처리용으로 설계된 고온 진공 어닐링로는 진공 및 강한 자기장 조건에서 연자성 소재 가공을 지원합니다.
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진공 어닐링로
Vectomag HTA 시리즈 가열로는 자성 소재 연구를 위한 진공 제어와 정밀 고온 자기장 어닐링을 제공합니다.
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PVD 코팅 장비
나노/미세구조 박막 제조를 위해 설계된 마그네트론 스퍼터링 시스템으로, 유연한 이중 타깃 모드를 통해 금속, 산화물, 질화물 및 유전체 박막 증착을 지원합니다.
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PVD 코팅 장비
레이저 MBE 시스템은 첨단 재료 R&D를 위해 고융점, 다원소 및 가스 함유 재료 등 복합 박막의 에피택셜 성장을 지원합니다.
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PVD 코팅 장비
나노 규모의 단층 및 다층 박막용으로 설계된 소형 스퍼터 코터. 학술 연구와 소규모 박막 제작에 적합합니다.
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결정 재료 제조
유도 가열과 물리 기상 수송(PVT)으로 SiC 분말을 승화시켜 고순도 6인치 탄화규소 결정을 성장시키는 SiC 결정 성장로입니다.
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PVD 코팅 장비
나노 및 마이크로 박막의 균일한 증착을 위해 설계된 단일 챔버 스퍼터링 시스템으로, 금속, 유전체 및 다층 박막 연구를 지원합니다.
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PVD 코팅 장비
대면적 박막 코팅용으로 설계된 4챔버 마그네트론 스퍼터링 시스템으로, 고진공 또는 저진공에서 결정질 실리콘에 순차적 또는 반응성 금속 증착을 지원합니다.
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PVD 코팅 장비
저항 가열로 금속, 산화물, 반도체 및 유기 박막을 증착하는 열 증발 진공 코팅 장비입니다. 연구 및 사전 생산 시험에 적합합니다.
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태양전지 제조
구리, 인듐, 갈륨 및 셀레늄 등 CIGS 재료를 사용하는 박막 태양전지의 R&D 및 파일럿 규모 생산용으로 설계되었습니다. 연속 진공 공정을 지원합니다.
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진공 소결로
이 진공 핫프레스 소결로는 분위기 제어, 압력 성형 및 고온 소결을 통합하며 분말 야금과 세라믹 소재 연구에 적합합니다.
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진공 멜트 스피닝
급속 응고용으로 설계된 진공 멜트 스피닝 시스템은 비정질 합금, 나노 구조 리본 및 첨단 자성 소재의 제작을 지원합니다.
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