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PVD 코팅 장비
사각형 4챔버 마그네트론 스퍼터링 시스템

Vectomag

사각형 4챔버 마그네트론 스퍼터링 시스템

대면적 박막 코팅용으로 설계된 4챔버 마그네트론 스퍼터링 시스템으로, 고진공 또는 저진공에서 결정질 실리콘에 순차적 또는 반응성 금속 증착을 지원합니다.

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Square Four - Chamber Magnetron Sputtering System

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