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단일 챔버 마그네트론 스퍼터링 시스템

나노 및 마이크로 박막의 균일한 증착을 위해 설계된 단일 챔버 스퍼터링 시스템으로, 금속, 유전체 및 다층 박막 연구를 지원합니다.

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