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고순도 마그네트론 스퍼터링 코팅 시스템

나노/미세구조 박막 제조를 위해 설계된 마그네트론 스퍼터링 시스템으로, 유연한 이중 타깃 모드를 통해 금속, 산화물, 질화물 및 유전체 박막 증착을 지원합니다.