Vectomag

高純度マグネトロンスパッタリング成膜システム

ナノ・マイクロ構造薄膜の作製用に設計されたマグネトロンスパッタリングシステム。柔軟なデュアルターゲットモードで金属、酸化物、窒化物、誘電体膜の堆積に対応します。