웨이퍼 수준 커 효과 측정기

웨이퍼 수준 커 효과 측정기 는 고급 웨이퍼 수준 자기 특성 평가를 위해 강력한 수직 및 면내 자기장 기능을 제공합니다.

• 자기장: 수직 방향 최대 2.5 T 및 면내 방향 최대 1.3 T로, 수직 자기 이방성 MRAM 박막 적층 구조의 자유층, 기준층 및 고정층을 정밀하게 반전할 수 있습니다.
• 초고감도 커 검출: 여러 박막층의 미세한 자기 변화를 동시에 특성 평가할 수 있습니다.
• 레이저 점별 검출과 스캔 이미징을 결합하여 전체 웨이퍼의 자기 특성 맵을 빠르게 생성하고 공정 최적화 및 수율 관리를 지원합니다.

수직 자기 이방성 자기 터널 결막 적층 구조의 히스테리시스 루프 측정 결과

수직 자기 이방성을 갖는 8-inch 웨이퍼의 보자력 특성 분포도

• 최대 12 인치 웨이퍼를 지원하며, 더 작은 크기와 완전히 호환되고 조각 시험도 가능합니다.
• 고자기장 성능: 최대 수직 자기장 ±2.5 T, 분해능 1 μT.
• 커 회전 검출 감도는 0.3 mdeg(RMS)보다 우수하여 다층 박막 적층 구조의 특성 평가에 적합합니다.
• 정밀 시료 위치 결정: 반복 정밀도 ±1 μm보다 우수, 정적 지터 ≤ ±0.25 μm.
• 유연한 스캔 모드: 단일 지점, 배열, 링 분포 또는 사용자 지정 위치 목록.
• 연구개발 및 생산 환경 모두를 위한 수동 로딩 또는 완전 자동 작동 옵션.

• 수직 이방성 MRAM 적층 구조 및 소자 배열
• 수직 자기 기록(PMR) 디스크 매체
• 자기 센서용 다층 박막 적층 구조
• 조각 또는 전체 웨이퍼 자기 시험

응용 분야:

• 웨이퍼 수준의 히스테리시스 루프 측정
• 공정 최적화 및 품질 관리
• 층별 자기 매개변수 추출(Hc, Hex, Ms)

• 정밀 정렬 기능을 갖춘 웨이퍼용 스테이지
• 고자기장 전자석(수직 및 면내)
• 초고감도 커 검출 모듈
• 통합 레이저 스캔 및 이미징 시스템
• 자동 위치 결정 및 모션 제어 유닛

• 실시간 데이터 획득 및 처리
• 자유층 및 고정층의 히스테리시스 루프 자동 추출
• 웨이퍼 수준 자기 특성의 매핑 및 시각화
• 사전 설정 및 사용자 지정 스캔 패턴(단일 지점, 배열, 링)
• 연구 개발 및 생산 데이터베이스와 통합하기 위한 내보내기 기능

모델: 웨이퍼 수준 Kerr 효과 측정 장비
표준 구성품: 웨이퍼 스테이지, 전자석, Kerr 광학계, 레이저 스캔 모듈, 소프트웨어 제품군