ウェハーレベルカー効果測定器

ウェハーレベルカー効果測定装置 は、高度なウェハーレベル磁気特性評価のために、強力な垂直磁場および面内磁場を提供します。

• 磁場：垂直方向で最大2.5 T、面内方向で最大1.3 T。垂直磁気異方性を持つMRAM薄膜積層構造の自由層、参照層、固定層を正確に反転させます。
• 超高感度のカー検出：複数の薄膜層における微細な磁気変化を同時に評価可能。
• レーザーによる点ごとの検出と走査イメージングを組み合わせることで、ウェハ全体の磁気特性マップを迅速に生成し、プロセス最適化と歩留まり管理を支援します。

垂直磁気異方性を持つ磁気トンネル結膜積層構造のヒステリシスループ測定結果

垂直磁気異方性を持つ 8-inch ウェハーの保磁力特性分布図

• 最大12インチのウェハサイズに対応し、小さいサイズとの完全な互換性と断片試験を備えます。
• 高磁場性能：最大垂直磁場±2.5 T、分解能1 μT。
• カー回転の検出感度は 0.3 mdeg（RMS）より良好で、多層薄膜積層体の評価に最適。
• 高精度の試料位置決め：繰り返し精度は±1 μmより良好、静的ジッタは≤ ±0.25 μm。
• 柔軟な走査モード：単一点、配列、リング配置、またはカスタム位置リスト。
• 研究開発および生産環境向けに、手動装填または全自動動作を選択可能。

• 垂直異方性MRAM積層構造とデバイスアレイ
• 垂直磁気記録（PMR）ディスク媒体
• 磁気センサー用多層薄膜積層構造
• 断片またはウェハ全体の磁気試験

用途：

• ウェハーレベルのヒステリシスループ測定
• プロセス最適化と品質管理
• 層別の磁気パラメーター抽出（Hc、Hex、Ms）

• 精密位置合わせ機能を備えたウェハーレベルステージ
• 高磁場電磁石（垂直・面内）
• 超高感度カー検出モジュール
• レーザー走査・イメージング一体型システム
• 自動位置決め・モーション制御ユニット

• リアルタイムのデータ取得と処理
• 自由層と固定層のヒステリシスループを自動抽出
• ウェハ全体の磁気特性のマッピングと可視化
• プリセットおよびカスタマイズ可能な走査パターン（単一点、アレイ、リング）
• 研究開発および製造データベースとの統合用エクスポート機能

モデル：ウェハレベルカー効果測定装置
標準構成品：ウェハステージ、電磁石、カー光学系、レーザー走査モジュール、ソフトウェアスイート