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CMT-70 홀 효과 측정 시스템

반도체 연구 및 재료 분석에서 캐리어 이동도, 비저항 및 홀 계수를 측정하는 정밀 시스템.

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제품 소개

CMT-70 홀 효과 측정 시스템은 반도체 재료 특성을 정확하게 측정하도록 설계된 고정밀 시험 플랫폼입니다. 시스템에는 다음과 같은 주요 구성 요소가 통합되어 있습니다:

  • 전자석 및 전자석 전원 공급기
  • 고안정 정전류원
  • 정밀 전압계
  • 고속 매트릭스 스위치 카드
  • 홀 효과 시료 홀더 및 기준 시료
  • 전용 제어 및 분석 소프트웨어

이 시스템은 최신 KEITHLEY 정밀 소스미터와 저지연, 고대역폭 매트릭스 카드를 결합합니다. 최적화된 구성은 전류 공급 범위와 홀 전압 측정 정확도를 크게 향상시킵니다. 넓은 전류 공급 범위와 유연한 전압 시험 기능을 갖춘 CMT-70은 대부분의 반도체 소자 평가 요구를 충족합니다.

자동화 소프트웨어는 다음을 포함한 주요 전기 매개변수를 효율적으로 계산하고 출력합니다:

  • 체적 캐리어 농도
  • 시트 캐리어 농도
  • 이동도
  • 비저항
  • 홀 계수
  • 자기저항

주요 특징

  • 높은 측정 정확도: KEITHLEY 소스미터와 고속 매트릭스 스위칭을 결합하여 안정적인 전류 공급과 정밀 전압 검출을 보장합니다.
  • 넓은 시험 범위: 박막부터 벌크 시료까지 다양한 반도체 재료 및 소자 유형을 포괄합니다.
  • 자동 데이터 분석: 소프트웨어 기반 결과 계산으로 수동 작업을 최소화하고 잠재적 오류를 줄입니다.
  • 유연한 구성: 홀 효과 및 비저항 측정을 위한 여러 센서 유형과 실험 구성을 지원합니다.
  • 사용자 친화적 소프트웨어 인터페이스: 명확한 파라미터 설정, 실시간 모니터링 및 데이터 내보내기 옵션을 갖춘 사용하기 쉬운 제어 패널.

일반적인 응용

  • 반도체 재료 연구 개발
  • 박막 특성 평가
  • 전자 소자 성능 시험
  • 자기저항 및 이동도 연구

참고: CMT-70 홀 효과 측정 시스템은 대학 연구실, 연구 기관 및 산업 연구 개발 환경에 적합합니다. 요청에 따라 맞춤 구성과 시스템 업그레이드가 가능합니다.

HMS 시스템의 시험 가능한 시료:

CMT-70 홀 효과 측정 시스템 파라미터:

물리 매개변수캐리어 농도10³cm⁻³ - 10²³cm⁻³
이동도0 .1 cm²/ volt*sec - 10⁸cm²/ volt*sec
비저항 범위10⁻⁷ Ohm*cm - 10¹² Ohm*cm
홀 전압1 uV - 3V
홀 계수10⁻⁵ - 10²⁷cm³/ C
시험 가능한 재료 유형반도체 재료SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 및 페라이트 재료 등.
저저항 재료그래핀, 금속, 투명 산화물, 약자성 반도체 재료, TMR 재료 등
고저항 재료반절연성 GaAs, GaN, CdTe 등
재료의 전도성 입자재료의 P형 및 N형 시험
자기장 환경자석 유형가변 전자석
자기장 크기1070mT(자극 간격 10mm)
687mT(자극 간격 20mm)
500mT (자극 간격 30mm)
378mT (자극 간격 40mm)
293mT(자극 간격 50mm)
균일 영역1%
선택 사양 자기 환경고객 요구에 따라 해당 자기 규모의 전자석을 맞춤 제작할 수 있습니다
전기 파라미터전류원±0.1nA- ±1000mA
전류원 분해능0.001uA
측정 전압±10nV ~ ±200V
전압 측정 분해능0.0001 mV
기타 액세서리차광외부 설치 차광 부품으로 시험 재료를 더 안정적으로 유지
시료 크기최대 30mm * 30mm
박스 캐비닛600*600*1000mm
시험편중국과학원 반도체연구소의 홀 효과 표준 시험 시료 및 데이터: 1세트
(Si, Ge, GaAs, lnSb)
오믹 접촉 형성전기 인두, 인듐 조각, 납땜 재료, 에나멜선 등
시험 시작 후 사람의 조작 없이 원버튼 자동 측정 가능
소프트웨어는 I-V 곡선 및 BV 곡선을 수행할 수 있습니다
소프트웨어에서 자동 온도 측정 설정
실험 결과를 측정하고 데이터를 소프트웨어에 임시 저장합니다. 장기 저장이 필요한 경우 EXCEL 표로 내보내 이후 데이터 처리를 편리하게 할 수 있습니다.
중국과학원 반도체연구소의 홀 효과 표준 시험 시료 및 데이터 제공: 1세트

가격 및 공급 가능 여부

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