ホール効果・電気輸送測定システム (ET-9000 シリーズ)

Vectomag ET-9000 シリーズ ホール効果・電気輸送特性測定システムは、ホール効果、磁気抵抗、温度依存抵抗、I-V 特性などの電気輸送特性を精密に評価するための全自動プラットフォームです。

学術研究と産業研究に向けて設計されたこのシステムは、高度な磁場制御、極めて安定した温度環境、自動データ収集ソフトウェアを統合しています。

10 年以上の開発経験を生かした ET-9000 シリーズは、高い測定精度、広い抵抗測定範囲、優れた動作安定性を備え、材料研究や半導体評価に適しています。

• ホール効果、R-H、R-T、I-V特性測定に対応します。
• 取得パラメーター：シート抵抗、抵抗率、ホール係数、ホール移動度、キャリア濃度、導電型。
• ソフトウェアによる自動測定・計算 — 3分未満でホールデータ一式を取得。
• 24時間の磁場安定性< ±0.5 G；滑らかなゼロクロス磁場制御。
• 内蔵ガウスメーターにより、1 kG範囲で0.1 G以内の磁場精度。
• モジュール設計により最大4試料を同時に測定できます。
• 測定範囲：100 nΩ – 100 GΩ（低抵抗および高抵抗オプション使用時）。
• ホール係数・移動度試験のASTM-F76規格に準拠。
• 低温または高温モジュールを用いた1.6 K – 1000 Kの温度環境（オプション）。
• 完全なソフトウェア自動化とデータ可視化を備えた使いやすいインターフェース。

ホール効果測定の試料グラフ — 清華大学の熱電材料

磁気抵抗測定の試料グラフ — USTBのGMR材料

• 半導体薄膜とバルク材料
• 熱電およびスピントロニクス材料
• 高温超伝導体
• 二次元材料（例：グラフェン、TMDs）
• 金属、酸化物、合金系
• 精密なホール効果・磁気抵抗分析を必要とするR&Dラボ

• 磁石の種類：電磁石または冷媒不要の超伝導磁石（5 T – 18 T）
• 温度範囲：1.6 K – 1000 K（選択可能なオプション）
• 磁場制御：内蔵ガウスメーター、バイポーラ動作、精度< 0.1 G
• 測定機器：Keithley精密ソースメーターとナノボルトメーター
• 試料ホルダー：クイック接続カード、4プローブ設計をオプションで選択可能
• ソフトウェア：全自動制御およびリアルタイムデータ処理インターフェース

• ホールパラメーターの自動データ収集と計算
• R-H、R-T、I-V 曲線のリアルタイム描画
• 高度な解析のためのベクトルデータ可視化
• CSVまたは画像形式での結果出力
• 自動位置合わせと自己校正ツール

• 液体ヘリウム不要の超伝導磁石プラットフォーム（Cryogenic CFMSシリーズ）
• 液体窒素カートリッジ / 恒温槽
• クローズドサイクルクライオスタット
• 高温炉（最大1000 K）
• 光路と遮光ボックスを統合した光学モジュール
• 回転ステージ、真空ポンプ、水冷ユニット

測定精度:

試料厚さ 100 nm、磁場 10 000 G、補正係数 = 1 とした場合:

• 抵抗測定精度：± 2 %
• 抵抗率、ホール係数、キャリア濃度、移動度：± 5 %