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Vectomag

3D 磁場プローブステーション (MPS-3D シリーズ)

直交するヘルムホルツコイルを備えた Vectomag 3D プローブステーション。精密なベクトル磁場、試料回転、マイクロプローブ試験に対応します。

3D Magnetic Field Probe Station (MPS-3D Series) 原寸画像を見る

1. 製品概要

Vectomag MPS-3Dシリーズ 3D磁場プローブステーションは、半導体、MEMS、超伝導、物性物理の研究に向けた精密測定プラットフォームです。

システム全体を非磁性材料で構成し、互いに直交する3組のヘルムホルツ型コイル対を組み合わせて、制御可能な3次元空間磁場を発生させます。

各コイルは、長時間の安定動作を支える水冷構造と過熱保護を備えています。

専用ソフトウェアまたは電源の前面パネルから各軸の電流を制御することで、空間内に任意のベクトル磁場を生成できます。

内蔵の可動試料ステージは、水平面内の2D平行移動と360°回転に対応し、試料の位置合わせと測定を容易にします。

4本の精密プローブアームとオプションの高解像度電子顕微鏡により、微小試料の信頼性の高い電気的プロービングと視覚的観察を提供します。

MPS-3Dシステムは、Vectomagの高精度バイポーラ電源と組み合わせて、空間のあらゆる方向における真のベクトル磁場合成を実現します。

2. 主な特長

  • 直交する3対のヘルムホルツ型コイルによる 3D ベクトル磁場生成
  • ソフトウェアまたはパネルインターフェースによるX/Y/Z方向の独立電流制御
  • Φ20 mm球内の高い磁場均一性
  • 連続使用のための過熱保護機能を内蔵した水冷コイル
  • 柔軟な位置合わせのための移動・360°回転可能な試料ステージ
  • DC または低周波 AC 信号試験用の4本の高精度プローブアーム
  • 滑らかなベクトル制御のための精密バイポーラ電源に対応
  • ミクロンレベルの目視観察用のオプション電子式顕微鏡
  • 幅広い用途:半導体、MEMS、超伝導、磁性材料の研究

4. 測定可能な試料と用途

  • 半導体チップ・ウェハー
  • MEMS およびナノスケール電子デバイス
  • 磁性・超伝導材料
  • スピントロニクス・強誘電体部品
  • 物理・材料科学研究
  • 生体医療用磁気センシング用途

5. システム構成

  • 3軸水冷ヘルムホルツ型コイルシステム
  • 移動可能な2D + 回転試料プラットフォーム
  • 精密プローブアーム(標準4本)
  • バイポーラ電流制御電源(Vectomag モデルをオプション選択可能)
  • 電子式顕微鏡イメージングモジュール(オプション)
  • 統合ソフトウェアによる閉ループ磁場制御

7. ソフトウェア機能

  • X/Y/Z 磁場の独立制御とフィードバック監視
  • 磁場ベクトル合成のリアルタイム可視化
  • 自動校正と温度補償
  • ホールまたはI-V測定モジュールとのオプション統合
  • USB/LANによるデータ出力と遠隔制御

6. オプション付属品

  • 安定したベクトル磁場制御用Vectomag精密バイポーラ電源
  • 顕微鏡観察モジュール(最大600×の倍率)
  • カスタム試料ホルダーとプローブ種類
  • 真空または温度制御チャンバー(ご要望に応じて)

3.1 磁場コイルのパラメータ


3.1 磁場コイルのパラメータ
ParameterValue
Xコイル外径 640 mm
Y コイル外径 470 mm
Zコイル外径 260 mm
Xコイル間隔 240 mm
Yコイル間隔 126 mm
Z コイル間隔 100 mm
コイル電流(X/Y/Z) ≤ 14 A
中心磁場(X/Y/Z) ≥ 300 Gs
磁場均一性(Φ 20 mm球) X: 0.1 % / Y: 0.07 % / Z: 0.5 %
コイル冷却 水冷
コイル動作温度 < 60 °C
総重量 ≈ 330 kg

3.2 試料ステージのパラメーター


3.2 試料ステージのパラメーター
ParameterValue
ステージ直径 最大102 mm(交換可能)
X軸移動量 ± 51 mm
Y 軸移動量 ± 51 mm
回転範囲 360°
回転精度 0.1°
材質 非磁性

3.3 プローブホルダーのパラメーター


3.3 プローブホルダーのパラメーター
ParameterValue
X/Y/Z移動量 各軸 ± 6 mm
分解能 20 μm
サイズ(W × D × H) 38 × 62 × 54 mm
重量 200 g
注記 プローブホルダーはオプション

3.4 プローブのパラメータ


3.4 プローブのパラメータ
ParameterValue
長さ 38 mm
直径 0.51 mm
先端直径 10 μm
材質 タングステン
注記 プローブはオプション

3.5 顕微鏡のパラメーター

3.5 顕微鏡のパラメーター
ParameterValue
画像センサー CMOS
有効画素数 1280 × 1024
光学ズーム 6× – 600× 連続
視野 3.5 – 35 mm
焦点調整範囲 65 mm
レンズ直径 50 mm
最小分解能 1 μm
十字線カーソル 4組
映像出力 VGA
モニター 19″ LCD
注記 顕微鏡はオプション

価格・納期

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