3D 자기장 프로브 스테이션 (MPS-3D 시리즈)

Vectomag MPS-3D 시리즈 3D 자기장 프로브 스테이션은 반도체, MEMS, 초전도 및 재료 물리 연구를 위해 설계된 정밀 측정 플랫폼입니다.

전체 시스템을 비자성 소재로 제작하고, 서로 직교하는 헬름홀츠형 코일 쌍 3개를 통합하여 제어 가능한 3차원 공간 자기장을 생성합니다.

각 코일은 수냉 구조와 과열 보호 기능을 갖추어 장시간 안정적으로 작동합니다.

전용 소프트웨어 또는 전원 공급 장치 전면 패널에서 각 축의 전류를 제어하여 공간 내에 임의의 벡터 자기장을 생성할 수 있습니다.

통합된 이동식 시료 스테이지는 2D 수평 이동과 360° 회전을 지원하여 시료 정렬과 시험을 편리하게 수행할 수 있습니다.

정밀 프로브 암 4개와 옵션인 고해상도 전자현미경을 통해 미세 시료의 신뢰성 있는 전기적 프로빙과 시각적 관찰을 제공합니다.

MPS-3D 시스템은 Vectomag의 고정밀 바이폴라 전원 공급 장치와 함께 사용하여 모든 공간 방향에서 실제 벡터 자기장 합성을 구현합니다.

• 직교하는 헬름홀츠형 코일 3쌍을 사용한 3D 벡터 자기장 생성
• 소프트웨어 또는 패널 인터페이스를 통한 X/Y/Z 방향 독립 전류 제어
• Φ20 mm 구 내부의 높은 자기장 균일도
• 연속 사용을 위한 과열 보호 기능이 내장된 수냉식 코일
• 유연한 정렬을 위한 이동 및 360° 회전 가능한 시료 스테이지
• DC 또는 저주파 AC 신호 시험용 고정밀 프로브 암 4개
• 부드러운 벡터 제어용 양극성 정밀 전원 공급기와 호환
• 마이크론 수준의 시각 관찰용 선택 사양 전자식 현미경
• 광범위한 응용 분야: 반도체, MEMS, 초전도 및 자성 재료 연구

• 반도체 칩 및 웨이퍼
• MEMS 및 나노 규모 전자 소자
• 자성 및 초전도 재료
• 스핀트로닉스 및 강유전 부품
• 물리 및 재료과학 연구
• 생의학 자기 센싱 응용 분야

• 3축 수냉 헬름홀츠형 코일 시스템
• 이동 가능한 2D + 회전 시료 플랫폼
• 정밀 프로브 암(표준 4개)
• 양극성 전류 제어 전원 공급 장치 (Vectomag 모델 선택 사양)
• 전자식 현미경 이미징 모듈(선택 사양)
• 통합 소프트웨어를 통한 폐루프 자기장 제어

• 독립적인 X/Y/Z 자기장 제어 및 피드백 모니터링
• 자기장 벡터 합성 실시간 시각화
• 자동 교정 및 온도 보상
• 홀 또는 I-V 측정 모듈과 옵션 통합
• USB/LAN을 통한 데이터 내보내기 및 원격 제어

• 안정적인 벡터 자기장 제어용 Vectomag 양극성 정밀 전원 공급기
• 현미경 관찰 모듈(최대 600× 배율)
• 맞춤 시료 홀더 및 프로브 유형
• 진공 또는 온도 제어 챔버 (요청 시)